氣體的性質（高濃度氧或空氣）及干燥度對臭氧發生器的效率及性能有著重要的影響。氣源中含有的水氣及微粒應被去除到最少，存在于氣源中的雜質會沉積在電極表面影響放電。源氣中的水氣會導致兩個嚴重的問題。第一，將會造成臭氧產量急劇下降，第二，空氣中的一小部分氮將被氧化溶解在水氣中形成硝酸對設備造成腐蝕。源氣的露點應保持在-60℃以下以防止這類事情的發生。
1.氣源
以下幾個原因使得采用高濃度氧氣作為氣源成為首選:第一，高濃度氧氣的生產工藝保證了氣源的純凈和低露點----可輕松達到-60℃以下。第二，高濃度氧氣大幅度提高臭氧發生器的效率和性能，例如，采用高濃度氧氣（92％）時，當臭氧濃度為50g/m3時（這樣的濃度是空氣法無法達到的），一個設計優良的臭氧發生器，每度電能產生100克以上的臭氧。第三，研究表明，臭氧的溶解度符合亨利定律。這意味著臭氧的濃度越高，臭氧的溶解效率也就越高。將臭氧濃度從1%提高到4-6%，同樣的劑量可以使更多地臭氧溶解在水中而且同時相應的提高處理效果。第四，高濃度臭氧氣使得需要溶解的氣體體積減少到空氣法的1/5,加壓泵功耗中有空氣法臭氧的1/5。第五，氧氣制備系統提供的清潔環境可增加臭氧放電組件的使用壽命，并相應地減少系統的維護費用。現代一般采用分子篩變壓吸附法制取高濃度氧氣。
2.臭氧發生筒
臭氧發生筒是臭氧發生器的核心元件之一，也是故障高發區。它影響到臭氧發生器的放電電壓、效率及可靠性，因而國際通行的標準是生產廠家對臭氧發生筒保修3年。由于臭氧發生器生產廠家的其它部件大多為外購（如控制及電器元件），因而臭氧發生筒的性能是衡量臭氧發生器生產廠商研發能力的重要標志。
3.放電電源
臭氧由于是在高能電磁場下形成的，因而需要有外界提供相應的能量，這就是臭氧放電電源，電源頻率的提高可減少設備體積，降低放電電壓，提高系統的安全性和可*性，但中高頻電源的應用需要電力半導體技術做支撐。臭氧在應用之初,使用的是工頻電源,設備體積龐大。隨著電力半導體技術的飛速發展,中高頻臭氧發生器電源的可靠性得到大幅度的提高，目前國際上先進臭氧發生器廠家在大功率臭氧發生器上普遍采用了中高頻電源(大于400Hz)。在小型臭氧發生器也有采用工頻電源的。
4.控制及電器元件
一臺先進的臭氧發生器應具備各種控制及保護功能，國內外先進的臭氧發生器均以PLC為控制核心，具有遠控功能，并可由主控臺對系統進行控制。可實現與循環泵、加壓泵等的聯動。具有短路保護、冷卻水過溫保護、變壓器過溫保護、機柜開關保護等各項聯鎖保護功能。各種控制及傳感元器件的性能直接影響到臭氧發生器的可靠性，一般來說，如果一臺臭氧發生器上的控制及電器元件選擇合理，則該部分的可靠性會得到保障。
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