臭氧機在污水處理過程中往往不能百分之百的被污水吸收利用，所以在剩余的尾氣中還含有一部分臭氧，如直接排入大氣就會污染環境，危害人體健康。剩余臭氧可以盡量利用，如經常采用引入原污水中。如實在不能利用就必須處理。尾氣處理的方法有燃燒法、活性炭吸附法、化學吸收法和催化分解法等。處理后的尾氣重的臭氧含量應小于 0 ｀ 1mg/l 。目前多使用回收利用、熱分解法和霍加拉特劑催化分解法。幾種方法的比較列于下表中。 在生產實踐中，常將臭氧尾氣以各種方式回用于原水的預處理，譬如，利用水射器，微空擴散器，混合到原水當中。
1.污水臭氧污水處理站設置空壓機房、臭氧發生器設備間和操作間。空壓機房安放空壓機，空壓機應防震和防止噪音。臭氧發生器間留有設備檢修空間。
2.設備間內應有排水道，以備空壓機排水，寒冷地區應有供暖設備
3.臭氧接觸塔在寒冷地區應設在室內，尾氣處理后經排氣管排出室外。
4.應絕對防止臭氧接觸塔內的污水通過臭氧管道回流到臭氧發生器。
5.根據處理工藝要求，泵應盡量靠近處理設備。
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