臭氧在工業廢水處理中應用十分普遍，70年代末，美國進行了大量的循環冷卻水的臭氧處理研究，證明臭氧具有緩蝕、阻垢、殺菌、滅藻、節水、無污染等諸多優點，所以臭氧處理循環冷卻水具有非常廣闊的前景。目前也越來越多的人在關注臭氧的處理工藝了。
臭氧化應用技術最廣泛、最成功的領域是水處理領域。臭氧用于水處理，除滅菌效果好，無二次污染外，還兼有脫色、除味，去除鐵、錳、氧化分解有機物和助凝作用，據報告，臭氧能夠消殺水中一切對人體有害的物質。臭氧應用污水消毒時需要較大的臭氧投加量和較長的接觸時間。那么我們在使用臭氧發生器之前我們應該做好以下幾點：
1.系統設備管道防腐處理：臭氧氣體具有很強的腐蝕性，在潮濕情況下腐蝕性最強。因此，臭氧發生設備‘輸送臭氧的管道’閥門及接觸反應設備均采取防腐措施。
2.臭氧輸送管道及臭氧設備必須密閉，防止泄漏：在設備運行之前應檢查是否漏氣，運行中一旦發生泄漏應立即關掉臭氧發生器電源，打開排風扇排出臭氧，再進行檢修。
3. 設置通風排氣設備：臭氧具有毒性，空氣中臭氧濃度達到 0.1mg/m 3 時就對人的眼睛、鼻、喉及呼吸道產生刺激作用在 0.01-0.02mg / m 3 時可聞到臭味；因此在臭氧設備間應設置通風設備，萬一發生泄漏可及時排出臭氧。
4. 必須設置尾氣處理或尾氣回收裝置，反應后排出的臭氧臭氧發生器價格尾氣必須經過分解破壞或回收利用，達到排放標準，否則將污染大氣。
5.臭氧發生器為高壓放電設備，應設置接地裝置，接地電阻應小于 4 歐姆。操作應嚴格按照設備使用說明書及有關電器使用要求進行。
臭氧技術還可以處理養殖水，對魚、蝦、蟹類的生長極為有利，經濟效益也非常明顯，且處理費用低于傳統的處理方法，現已在歐美被廣為采用。
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